《微细加工技术》创刊于1983年，是国家科委和国家新闻出版署批准，国内外公开发行的中央级重要科技期刊。是国家一级检索刊物，已连续9年被美国工程信息公司Ei数据库收录，是《中国期刊网》、《中国学术期刊（光盘版）》、《中国学术期刊综合评价数据库》全文收录用刊，是《中国科学引文数据库》来源期刊。
《微细加工技术》目前已停刊，具体复刊时间以杂志社官方消息为准。刊物荣誉《微细加工技术》创刊于1983年，是国家科委和国家新闻出版署批准，国内外公开发行的中央级重要科技期刊。是国家一级检索刊物，已连续9年被美国工程信息公司Ei数据库收录，是《中国期刊网》、《中国学术期刊（光盘版）》、《中国学术期刊综合评价数据库》全文收录用刊，是《中国科学引文数据库》来源期刊。窗体顶端办刊宗旨本书针对制造技术的最新进展与需求，以微米尺度零件的加工为主线，力求使读者能较为准确地理解和掌握微机械与微细加工技术的基础知识和常用微细加工方法的基本原理及应用。主要内容包括：微型机械与微细加工的基础知识；微细切削加工;；半导体材料的微细加工技术；微细电加工等微细特种加工技术；高能束流微细特种加工技术；纳米加工技术；生长型微细加工技术；典型微机械产品及其采用的微细加工技术等。收录情况EI;工程索引(美);万方收录(中);上海图书馆馆藏;国家图书馆馆藏;知网收录(中);统计源核心期刊(中国科技论文核心期刊);维普收录(中)获奖情况中文核心期刊；国家一级检索刊物用刊《微细加工技术》往期回顾?《微细加工技术》最新期刊目录(1)大角度离子注入机控制系统软件设计伍三忠;吴学忠(4)X射线光刻和剥离技术制作声表面波叉指换能器李晶晶;赵以贵;贾锐;李冬梅;牛洁斌;柯导明;陈军宁(7)用于非球面测试的位相型计算全息图制作马杰;朱效立;谢常青;叶甜春;赵珉;刘明;陈宝钦;朱日宏;高志山;马骏(9)高高宽比硬X射线聚焦波带片的制作吴璇;陈军宁;朱效立;牛洁斌;李亚文;胡松;谢常青(12)射频磁控共溅射高温NH3退火制备CuO/SiO2复合薄膜的微观结构石锋;李玉国;孙钦军(14)Fe-ZnSe纳米复合颗粒膜的制备和磁电阻效应张林;张昌文;王永娟(16)Cu掺杂浓度对ZnO薄膜的结构、透光性和电学性质的影响徐庆岩;吴雪梅;诸葛兰剑;陈学梅;吴兆丰(19)聚合物Parylene C薄膜的反应离子刻蚀研究王亚军;刘景全;沈修成;杨春生;郭中元;芮岳峰(22)高析氢活性Ni-Mo-Zn合金电极的制备与表征朱波;刘贵昌;施志聪;王华;刘伟(26)SOI微加速度传感器结构设计与工艺实现徐春晓;房立清;周新伟(28)陶瓷釉用TiO2光催化剂的制备研究陈前林;吴建青;王龙现(31)低相位噪声毫米波平面振荡器研究程知群;周云芳;张胜(34)共缩聚法制备功能化P(St-MPS)/MCM-41核壳复合微球赵彦生;陈凯;刘永梅;刘成岑;张向英;申迎华(37)Zn2+和PO43-复合掺杂α-Ni（OH）2的结构及电化学性能刘长久;黄良花;赵卫民;邢春晓;刘爱芳(41)微气泡在矩形铂膜加热器上的控制性生长及振动李倩;刘国华;徐进良;张伟(45)反磁悬浮涡流旋转微陀螺的定子研究刘凯;张卫平;陈文元;刘武;李凯;戴福彦(48)MOCVD侧向外延生长GaN的研究朱丽虹;李晓莹;刘宝林(53)锂离子电池正极材料LiNi0.4Co0.2Mn0.4O2的合成及电化学性能钟胜奎;刘乐通;刘洁群;姜吉琼;王健;李阳;郑少英(58)染料敏化太阳能电池改性PEDOT:PSS对电极的制备巩翠翠;胡志强;苏岩;李璞;周红茹;康姣(61)碳纳米管场电子发射性能不稳定性的分析王必本;王峰瀛;党纯
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